Certus
Light V - компактная версия СЗМ с минимальной функциональностью и
стоимостью. Основное отличие от основной версии Certus Light -
сканирование образцом и более точная система подвода. Прибор состоит из
считывающие состояние кантилевера головки, многофункционального плоского
сканера, системы подвода и установки головки. Прибор работает с
минимальной конфигурацией блока электронного управления EG1000 с
возможностью дистанционного управления прибором через планшетный
компьютер с использование специализированного ПО для ОС Android.
Усовершенстованная СЗМ головка с держателем зонда типа SIM карты
Легкосъемный
держатель выполнен по принципу SIM карты, обеспечивает быстрое и
простое снятие и установку держателя зонда. Для работы подходят все типы
кантилеверов, доступные на рынке от сторонних производителей. Головка
выполнена по схеме "короткой базы", то есть с минимальным расстоянием
между опорами для придания конструкции максимальной жесткости. Открытое
пространство над расположением зонда обеспечивает доступ оптики большой
кратности, с рабочим отрезком до 10 мм.
Сводная таблица параметров:
Система подвода образца
|
Минимальный шаг
|
100 нм
|
Реализация системы подвода
|
1 Шаговый двигатель, методом наклона
|
Позиционирование образца
|
Диапазон позиционирования образца
|
нет
|
Реализация системы позиционирования
|
нет
|
Точность позиционирования
|
нет
|
Быстрый сканер
|
Тип плоский XYZ stage
|
Поле зрения СЗМ (диапазон сканирования)
|
200μmx200μmx15 μm
|
Резонансные частоты XY
|
10 кHz
|
Резонансные частоты Z
|
30 кHz
|
СЗМ пространственное разрешение (XY, латеральное)
|
<0.1 nm
|
СЗМ пространственное разрешение (Z, вертикальное)
|
<0.01 nm
|
Остаточная нелинейность
|
<0.1%
|
Датчики перемещения
|
Тип датчиков
|
Ёмкостные, дифференциальные состоящие из двух пар датчиков, с измерением разностного сигнала.
|
Габаритные размеры: