
Ratis 1X |
|||||||||||||||||||||||
Ratis 1X – однокоординатный нанопозицонер | |||||||||||||||||||||||
Ratis 1X – однокоординатный нанопозицонер
Ratis 1X – плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками. Уникальная автоматическая система термостабилизации и калибровки позволяет использовать плоскопараллельный сканирующий столик в температурном диапазоне ±40°C. Ratis 1X снабжен ёмкостным датчиком перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики. Микросхемы ВЦП (время-цифровых преобразователей), измеряющие емкость датчиков, расположены максимально близко к самим датчикам, и выдают цифровой сигнал, пропорциональный измеренной емкости. Это позволяет минимизировать влияние внешних электромагнитных шумов, и использовать длинные кабели для связи сканера с контроллером. Сканеры Ratis 1X работает под управлением универсального контроллера EG-3000 или EG-1000 и программного обеспечения NSpec. Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время. Используется совместно с контроллерами EG-3000 (EG-1000 ) В сканерах применяется технология с использованием дифференциальных емкостных датчиков.
Основные параметры:
|
Параметр |
Ratis 1X |
диапазон перемещений по XY, μm | - |
диапазон перемещений по оси Z, μm | 120 |
резонансная частота по осям XY, kHz | - |
резонансная частота по оси Z, kHz | 3 |
минимальный шаг перемещения, nm | 0.1 |
максимальное отклонение от нормали на полном ходу | < 0.01° |
максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) | 100 |
максимальная масса образца, g | 100 |
рабочий температурный диапазон, °C | ±40 |
*Опционально | - |
Цена:
Стоимость двухкоординтного плоскопараллельного сканера Ratis 1X составляет 250 000* руб.
* В данную цену не включен СЗМ контроллер EG-3000 (EG-1000 ).